SP 特性

• 耐熱性・耐寒性
• 高PV条件下での低摩耗性及び低摩擦性
• 優れた抗クリープ性
• 電気絶縁、絶縁耐力22kv/mm
• 耐プラズマ性及び耐放射線性
• 高真空-10トル以下の低ガス放出
• 優れた機械加工性

SCP5000 特性

• High Performance Material
• for Handling or Holding Substrate
• 高い「剛性」を備えたポリイミド構造
• 高い機械強度
• lift pins and screwsに最適
• 優れた相溶性
• 優れた耐プラズマ性
• 優れた寸法安定性
• 低吸水率
• 低い熱膨張係数
• 優れた耐熱性
• 優れた耐化学性
• 卓越した機械加工性
• 卓越した純度
• 低ガス放出