「Nanomate Premium Series」ダイヤモンド砥石は市場が求める高精度な研磨加工を実現します。砥粒層が持つ「高気孔率」と「均一性」により、同じ周速度であれば、研磨加工における負担を減らし、寿命も長持ちします。また、ウェハエッジのクラックによる欠陥および加工のコストを低減することができます。