SP 特性

• 耐高低溫
• 高 PV 條件下低磨損和低摩擦
• 優異的抗蠕變性
• 電氣絕緣，介電強度22KV/mm 
• 耐電漿和輻射
• 高真空 -10 托下低釋氣
• 優異的機械加工性

SCP5000 特性

• High Performance Material
• for Handling or Holding Substrate
• 高「剛性」聚醯亞胺結構
• 高機械強度
• 推薦用於 lift pins and screws
• 良好的化學相容性
• 優異的耐電漿性
• 優異的尺寸穩定性
• 低吸水率
• 低熱膨脹係數
• 良好的耐熱性
• 良好的耐化學性
• 卓越的機械加工性
• 卓越的純度
• 低釋氣